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81

Experimentelle Untersuchung und theoretische Betrachtung zur gravimetrisch kontrollierten IR-Trocknung dicker SU-8-Schichten

Autoren:
Schönfeld, Maik; Saupe, Jens; Vogel, Jürgen; Aßmann, Heiko; Cappek, Manfred; Lemke, Stephanie; Löchel, Bernd; Grimm, Jürgen
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011

82

Fehlerfrüherkennungssystem für Flugzeugpropeller auf Basis integrierter MFC-Sensoren

Autoren:
Ruemmler, Norbert; Schlott, Friedrich; Riesberg, Florian; Gesch, Helmuth; Harasim, Anton; Leschik, Josef; Schmitt-Walter, Stefan; Albrecht, Martin G.
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011

83

Fehlertolerante und fertigungsgerechte Entwurfsauslegung mikrooptischer Systeme

Autoren:
Sieber, Ingo
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011

84

Fertigung & Charakterisierung hartmagnetischer Dünnfilmschichten

Autoren:
Chen, Jue; Ruffert, Christine; Rissing, Lutz
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011

85

Fertigungskette zur nachbearbeitungsfreien Herstellung von polymeren Mikrohohlnadelarrays

Autoren:
Rieper, Tina; Welte, Gregor; Müller, Claas; Hochstein, David; Auber, Johannes; Schumacher, Axel; Spieth, Sven; Reinecke, Holger; Reinecke, Holger
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011

86

Flachbauendes Mikroskop: Ein mikrooptisches Abbildungssystem für digitale Nahaufnahmen

Autoren:
Brückner, Andreas; Wippermann, Frank; Leitel, Robert; Dannberg, Peter; Buß, Wolfgang; Höfer, Bernd; Bräuer, Andreas; Duparré, Jacques
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011

87

Flexibles taktiles Sensorarray für Robotik- und Prothetikanwendungen

Autoren:
Häfner, Joachim; Görtz, Michael; Mokwa, Wilfried
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011

88

Fluidischer Separator für Zweiphasengemische

Autoren:
Eichler, Marko; Nagel, Krees; Hennecke, Philipp; Klages, Claus-Peter
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011

89

Freistehende Siliziumoxid-Mikrokanäle für biophysikalische Messungen und Mikroskopie

Autoren:
Feindt, H.; Zhang, D.; Wang, Y.; Burg, T. P.
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011

90

Galvanische Abscheidung von hochporösen Platin-Elektroden mit einstellbarer spezifischer Oberfläche für die implantierbare Glukose-Brennstoffzelle

Autoren:
Kloke, A.; Köhler, C.; Zengerle, R.; Zengerle, R.; Zengerle, R.; Kerzenmacher, S.
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011

91

Geregelte Auslese eines AMR-Sensors mit impliziter Digitalisierung des magnetischen Eingangssignals

Autoren:
Kuderer, M.; Monastyrnyy, S.; Manoli, Y.; Manoli, Y.
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011

92

Herausforderungen der verteilten Ereigniserkennung in drahtlosen Sensornetzen

Autoren:
Dziengel, Norman; Ziegert, Marco; Adler, Stephan; Kasmi, Zakaria; Schiller, Jochen
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011

93

Hermetic Glass-Thin-Film for Wafer-Level-Packaging of Sensors and ICs

Autoren:
Leib, Jürgen; Hansen, Ulli; Maus, Simon; Zoschke, Kai; Hauck, Karin; Töpper, Michael
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011

94

Herstellung eines Mikroaktors zur Anregung der Perilymphe bei Schwerhörigkeit

Autoren:
Creutzburg, T.; Cvetkovi?, S.; Rissing, L.
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011

95

Herstellung großflächiger optischer Gitter mittels Röntgentiefenlithographie und anschließender Stapelung

Autoren:
Börner, Martin; Hofmann, Andreas; Hummel, Benjamin; Mohr, Jürgen; Lohrke, H.; Brunner, Robert
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011

96

Herstellung Silicumoxycarbid-basierter mikrostrukturierter Bauteile mittels Photolithographie- und Soft Lithographie-Verfahren

Autoren:
Ionescu, E.; Crespiera, S. Martinez; Schlosser, M.; Schlaak, H. F.; Riedel, R.
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011

97

Herstellung und AVT von hochtemperaturtauglichen piezoresistiven Wheatstone-Brücken für Sensorik in rauen Umgebungen

Autoren:
Kaehler, J.; Merzsch, S.; Stranz, A.; Waag, A.; Peiner, E.
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011

98

Herstellung und Charakterisierung perforierter und poröser Membranmodulen für Mikro- und Nanofiltration

Autoren:
Kovacs, A.; Mescheder, U.
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011

99

HF-MEMS Schalter mit ohmschen Kontakt und lateraler Bewegungsrichtung

Autoren:
Leidich, Stefan; Kurth, Steffen; Nowack, Markus; Bertz, Andreas; Frömel, Jörg; Kaufmann, Christian; Gessner, Thomas; Akiba, Akira; Ikeda, Koichi
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011

100

Hocheffizientes piezoelektrisches Energy Harvesting System mit neuartiger selbstregelnder 'Direct-SSHI' Interfaceschaltung

Autoren:
Becker, P.; Hong, W.; Hoffmann, D.; Hymon, E.; Folkmer, B.; Manoli, Y.; Manoli, Y.
Konferenz:
MikroSystemTechnik - KONGRESS 2011