1
Elektromigrationsverhalten von Silberdünnfilmen auf LTCC
Autoren:
Bittner, Achim; Backes, Andreas; Schmid, Ulrich
Konferenz:
Mikrosystemtechnik 2013 - Von Bauelementen zu Systemen
2
Elektrostatische und fluidische Selbstassemblierung für die hochgenaue Mikro-Montage von MEMS
Autoren:
Mouselimis, Konstantinos; Gan, Yifei; Huhn, Andreas; Wilde, Jürgen
Konferenz:
Mikrosystemtechnik 2013 - Von Bauelementen zu Systemen
3
Enabling efficient design of self-supplied SSHI-circuit for piezoelectric MEMS energy harvester
Autoren:
Hohlfeld, Dennis; Sayed, Fatma; Eker, Muharrem; Rudnyi, Evgenii; Bechtold, Tamara; Korvink, Jan G.
Konferenz:
Mikrosystemtechnik 2013 - Von Bauelementen zu Systemen
4
Energieautarke Sensorik und Interaktion mit mobilen Anwendern – Ziele und Inhalte des Verbundprojekts ESIMA
Autoren:
Kärcher, Bernd; Haase, Heiko; Hülsmann, Steffen
Konferenz:
Mikrosystemtechnik 2013 - Von Bauelementen zu Systemen
5
Energieeffiziente Sensornetze zur Anlagenüberwachung
Autoren:
Niedermayer, Michael; Guttowski, Stephan; Lang, Klaus-Dieter
Konferenz:
Mikrosystemtechnik 2013 - Von Bauelementen zu Systemen
6
Energiefilter für Ionenimplantation
Autoren:
Krippendorf, Florian; Csato, Constantin; Bischof, Tina; Gupta, Sandeep; Han, Weiqi; Morgenroth, Wolfgang; Nobst, Michael; Ronning, Carsten; Rupp, Roland; Schewior, Andre; Wesch, Werner; Rüb, Michael
Konferenz:
Mikrosystemtechnik 2013 - Von Bauelementen zu Systemen
7
Energy Harvesting mit einer Figur-8 Spule – in Richtung energieautonomer MRI-Messungen
Autoren:
Höfflin, J.; Fischer, E.; Hennig, J.; Korvink, J. G.
Konferenz:
Mikrosystemtechnik 2013 - Von Bauelementen zu Systemen
8
Entwicklung einer Mikrochip navigierten Zellsortieranlage
Autoren:
Kahnert, S.; Goehlich, A .; Greifendorf, D.; Vogt, H.; Lennartz, K.; Kirstein, U.; Goellner, B.; Michelsen, U.; Bartels, F.
Konferenz:
Mikrosystemtechnik 2013 - Von Bauelementen zu Systemen
9
Entwicklung einer pulsationsfreien Pumpe für mikrofluidische Anwendungen
Autoren:
Hoffmeier, Konrad L.; Hoffmann, Dirk; Schimmelpfennig, Michael; Feller, Karl-Heinz
Konferenz:
Mikrosystemtechnik 2013 - Von Bauelementen zu Systemen
10
Entwicklung einer Stressausgleichsstruktur für spannungsfreie aktive Membranspiegel in SOI Technologie
Autoren:
Kronast, Wolfgang; Mescheder, Ulrich; Müller, Bernhard; Huster, Rolf
Konferenz:
Mikrosystemtechnik 2013 - Von Bauelementen zu Systemen
11
Entwicklung eines hochtemperaturfesten Kondensators für die Mikrosystemtechnik
Autoren:
Celik, Y.; Goehlich, A.; Jupe, A.; Vogt, H.
Konferenz:
Mikrosystemtechnik 2013 - Von Bauelementen zu Systemen
12
Entwicklung eines Impulslärm-Dosimeters zur Untersuchung von Ge-hörschädigungen bei Menschen
Autoren:
Becsi, L.; Benyoucef, D.; Bier, T.; Kronast, W.; Mescheder, U.
Konferenz:
Mikrosystemtechnik 2013 - Von Bauelementen zu Systemen
13
Entwicklung eines robusten, keramischen MEMS - Packaging als hermetisch dichtes und hoch-schockfestes SMD-Bauteil
Autoren:
Goldberg, Adrian; Ihle, Martin; Ziesche, Steffen; Külls, Robert
Konferenz:
Mikrosystemtechnik 2013 - Von Bauelementen zu Systemen
14
Entwicklung eines SiC basierten Leistungswandlermoduls
Autoren:
Knoll, Heiko
Konferenz:
Mikrosystemtechnik 2013 - Von Bauelementen zu Systemen
15
Entwicklung und Simulation passiver Mikromischer für Strömungen im Bereich niedriger Reynolds-Zahlen
Autoren:
Lorenz, T.; Al-Halhouli, A. T.; Mohsen, M.; Matar, M.; Büttgenbach, S.; Dietzel, A.
Konferenz:
Mikrosystemtechnik 2013 - Von Bauelementen zu Systemen
16
Entwicklung von Kanalstrukturen mit dem Anwendungsziel Zytometer
Autoren:
Freundlieb, M.; Schütte, H.; Schlüter, M.; Lilienhof, H. J.
Konferenz:
Mikrosystemtechnik 2013 - Von Bauelementen zu Systemen
17
Erhöhung des Integrationsgrades von Membranaktorik in LOCs mithilfe von Lasertechnologie
Autoren:
Geidel, S.; Enderlein, T.; Nestler, J.; Morschhauser, A.; Otto, T.; Gessner, T.
Konferenz:
Mikrosystemtechnik 2013 - Von Bauelementen zu Systemen
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Erweiterungen und Anwendungen der BDRIE-Technologie zur Herstellung hermetisch gekapselter Sensoren mit hoher Güte
Autoren:
Hiller, K.; Hahn, S.; Küchler, M.; Billep, D.; Forke, R.; Köhler, D.; Konietzka, S.; Pohle, A.; Geßner, T.
Konferenz:
Mikrosystemtechnik 2013 - Von Bauelementen zu Systemen
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Erzeugung von Verdünnungsreihen auf einer Laborzentrifuge
Autoren:
Strohmeier, O.; Rombach, M.; Mark, D.; Roth, G.; Zengerle, R.; Stetten, F. von
Konferenz:
Mikrosystemtechnik 2013 - Von Bauelementen zu Systemen
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Experimentelle Evaluierung eines analytischen Modellansatzes zur Berechnung beladungsinduzierter Frequenzshifts an Mikrocantilevern aus Photoresist
Autoren:
Schönfeld, M.; Kolker, A.; Schubert, S.; Saupe, J.; Grimm, J.
Konferenz:
Mikrosystemtechnik 2013 - Von Bauelementen zu Systemen