1
Mikrokraftsensor als Transfernormal für die Kalibrierung von Antastkräften
Autoren:
Bütefisch, S.; Weimann, T.; Danzebrink, H.-U.; Flügge, J.; Solzbacher, F.
Konferenz:
Mikrosystemtechnik 2013 - Von Bauelementen zu Systemen
2
Mikrolasertracker zur multisensorischen 3D-Koordinatenmessung
Autoren:
Markweg, Eric; Weinberger, Stefan; Nguyen, Tran Trung; Schädel, Martin; Brodersen, Olaf; Ament, Christoph; Hoffmann, Martin
Konferenz:
Mikrosystemtechnik 2013 - Von Bauelementen zu Systemen
3
Mikrooptisches head-mounted Display
Autoren:
Schreiber, Peter; Sieler, Marcel
Konferenz:
Mikrosystemtechnik 2013 - Von Bauelementen zu Systemen
4
Mikropumpe mit elektrostatischem Direktantrieb
Autoren:
Dittrich, L.; Endrödy, C.; Hoffmann, M.
Konferenz:
Mikrosystemtechnik 2013 - Von Bauelementen zu Systemen
5
Mikrosysteme für die Zellmanipulation
Autoren:
Garcés Diedrich, Mayra; Hoxhold, Björn; Beutel, Tobias; Ferreira, Nelson; Leester-Schädel, Monika; Büttgenbach, Stephanus; Dietzel, Andreas
Konferenz:
Mikrosystemtechnik 2013 - Von Bauelementen zu Systemen
6
Mikrosystemtechnische Realisierung eines Zeitbereichsfilters für ultrakurze optische Pulse
Autoren:
Bohling, M.; Jahns, J.; Mohr, J.; Börner, M.
Konferenz:
Mikrosystemtechnik 2013 - Von Bauelementen zu Systemen
7
Mikrothermischer Sensor zur Bestimmung von Methanolkonzentration und Strömungsgeschwindigkeit für Direktmethanolbrennstoffzellen
Autoren:
Schmitt, Bastian; Kiefer, Christian; Schütze, Andreas
Konferenz:
Mikrosystemtechnik 2013 - Von Bauelementen zu Systemen
8
Mikrotropfenerzeuger Hergestellt mit Rapid Manufacturing Verfahren
Autoren:
Kagerer, Markus; Eiler, Kenji L.; Ottnad, Thomas; Irlinger, Franz; Lueth, Tim C.
Konferenz:
Mikrosystemtechnik 2013 - Von Bauelementen zu Systemen
9
Miniaturisierte optische Integrationsplattform für III-N basierte opto-chemische Detektoren
Autoren:
Kleindienst, R.; Cimalla, V.; Eickhoff, M.; Grewe, A.; Holc, K.; Schätzle, J.; Schörmann, J.; Schwarz, U.; Teubert, J.; Sinzinger, S.
Konferenz:
Mikrosystemtechnik 2013 - Von Bauelementen zu Systemen
10
Mobile Robotik in der Halbleiterfertigung
Autoren:
Pollack, Steffen
Konferenz:
Mikrosystemtechnik 2013 - Von Bauelementen zu Systemen
11
Modeling the adhesion between nanoneedle surfaces bonded based on Velcro® or Gecko principle
Autoren:
Keshavarzi, Shervin; Mescheder, Ulrich; Reinecke, Holger
Konferenz:
Mikrosystemtechnik 2013 - Von Bauelementen zu Systemen
12
Monolithisch-integrierte Through-Silicon Vias für Grounding, Power Distribution Networks und System-on-Chip Anwendungen
Autoren:
Wietstruck, M.; Kaynak, M.; Marschmeyer, S.; Göritz, A.; Tolunay, S.; Tillack, B.
Konferenz:
Mikrosystemtechnik 2013 - Von Bauelementen zu Systemen
13
Multifunktionaler Werkzeugwechsler für den Einsatz in mikrotechnischen Prozessketten – Messen, Prüfen, Montieren
Autoren:
Boese, Christoph; Dietzel, Andreas; Büttgenbach, Stephanus
Konferenz:
Mikrosystemtechnik 2013 - Von Bauelementen zu Systemen
14
Nano-modifiziertes flexibles Mikroelektroden-Array mit integriertem CMOS-Chip für medizinische Anwendungen
Autoren:
Winkin, N.; Gierth, U.; Michaelis, A.; Mokwa, W.; Rabbow, T.
Konferenz:
Mikrosystemtechnik 2013 - Von Bauelementen zu Systemen
15
Nanoabguss von rauen Glasoberflächen für die optische Lichtstreuung
Autoren:
Döring, Christoph; Hein, Eric; Saiad, Mohamed Oulad; Fouckhardt, Henning
Konferenz:
Mikrosystemtechnik 2013 - Von Bauelementen zu Systemen
16
Nanofluidic gates for diffusion-free controlled release from microfluidic devices
Autoren:
Jones, P. D.; Molares, M. E. Toimil; Trautmann, C.; Stelzle, M.
Konferenz:
Mikrosystemtechnik 2013 - Von Bauelementen zu Systemen
17
Neuartige laserinduzierte ITO Nanodrähte für Gassensorik-Anwendungen
Autoren:
Afshar, M.; Preiß, E.; Sauerwald, T.; Schütze, A.; Feili, D.; Seidel, H.
Konferenz:
Mikrosystemtechnik 2013 - Von Bauelementen zu Systemen
18
Neue Märkte durch intelligente Inertialsensorsysteme
Autoren:
Schunke, Stefan
Konferenz:
Mikrosystemtechnik 2013 - Von Bauelementen zu Systemen
19
Neue Materialien und Konzepte für Biobrennstoffzellen
Autoren:
Kerzenmacher, S.; Danzer, J.; Erben, J.; Kipf, E.; Kloke, A.; Köhler, C.; Sané, S.; Zengerle, R.
Konferenz:
Mikrosystemtechnik 2013 - Von Bauelementen zu Systemen
20
Neuer optischer Sensor zur Bestimmung des Ecklastfehlers in Waagen
Autoren:
Müller, Ralf; Völlmeke, Stefan; Förster, Erik
Konferenz:
Mikrosystemtechnik 2013 - Von Bauelementen zu Systemen