1
On-Chip Brennstoffzellen als Energieversorgung für RFID Systeme
Autoren:
Zimmermann, D.; Moranz, C.; Kuhl, M.; Freund, I.; Müller, C.; Reinecke, H.; Manoli, Y.; Manoli, Y.
Konferenz:
MikroSystemTechnik 2015 - MikroSystemTechnik Kongress 2015
2
On-Chip Impedanz Trimming von transparenten und flexiblen ITO-Elektroden durch Laser Induzierte Nanocuts
Autoren:
Afshar, M.; Leber, M.; Poppendieck, W.; König, K.; Seidel, H.; Feili, D.
Konferenz:
MikroSystemTechnik 2015 - MikroSystemTechnik Kongress 2015
3
Optimization of Diaphragm Characteristics of an Absolute MEMS Capacitive Polysilicon Pressure Sensor
Autoren:
Walk, Christian; Giese, André; Weidenmüller, Jens; Görtz, Michael
Konferenz:
MikroSystemTechnik 2015 - MikroSystemTechnik Kongress 2015
4
Optisch auslesbarer Drucksensor auf Basis einer nanostrukturierten Membran
Autoren:
Karrock, Torben; Gerken, Martina
Konferenz:
MikroSystemTechnik 2015 - MikroSystemTechnik Kongress 2015
5
Optische Charakterisierung von Stress-relaxierten aktiven MOEMS-Membranspiegeln mit großer Apertur
Autoren:
Kronast, Wolfgang; Lange, Volker; Huster, Rolf; Mescheder, Ulrich
Konferenz:
MikroSystemTechnik 2015 - MikroSystemTechnik Kongress 2015
6
Optische Koppler-Strukturen aus SU-8 und Ormocer® zur Verwendung in einem optischen Mikrogyroskop
Autoren:
Leber, I.; Niesel, T.; Bitter, M.; Dietzel, A.
Konferenz:
MikroSystemTechnik 2015 - MikroSystemTechnik Kongress 2015
7
Optische Schnittstelle für photonische Wirebonds in photonischer BiCMOS-Technologie
Autoren:
Mai, C.; Lischke, S.; Kroh, M.; Hoose, T.; Lindenmann, N.; Koos, C.; Mai, A.; Zimmermann, L.
Konferenz:
MikroSystemTechnik 2015 - MikroSystemTechnik Kongress 2015
8
Optische und taktile Sensoren für die Inline-Prozessüberwachung bei der spanenden Fertigung
Autoren:
Frank, Th.; Fiedler, M.; Völlmeke, St.; Winzer, A. T.; Görlandt, St.; Ortlepp, H.-G.; Steinke, A.; Doering, L.; Lahmann, H.-W.; Reich, S.
Konferenz:
MikroSystemTechnik 2015 - MikroSystemTechnik Kongress 2015
9
Optoelektronischer Nivellierungssensor – Simulationen und Funktionsmuster
Autoren:
Müller, R.; Förster, E.; Brodersen, O.
Konferenz:
MikroSystemTechnik 2015 - MikroSystemTechnik Kongress 2015
10
Parameteridentifikation von Material und Prozessparametern im Package mit Hilfe des Stresschips
Autoren:
Schindler-Saefkow, Florian; Schindler-Saefkow, Florian; Rost, Florian; Rost, Florian; Rzepka, Sven
Konferenz:
MikroSystemTechnik 2015 - MikroSystemTechnik Kongress 2015
11
Particle Tolerance of micro diaphragm pumps with low chamber heights and passive flap valves
Autoren:
Jenke, C. W.; Muster, T.; Richter, M.; Kutter, C.
Konferenz:
MikroSystemTechnik 2015 - MikroSystemTechnik Kongress 2015
12
Piezoelektrische ohmsche MEMS-Schalter mit bidirektionalem Antrieb und geringen Schaltzeiten
Autoren:
Stoppel, F.; Lisec, T.; Wagner, B.; Benecke, W.
Konferenz:
MikroSystemTechnik 2015 - MikroSystemTechnik Kongress 2015
13
Point4Micro – Identifizierung von Potenzialen für die Produktion von Mikrosystemen bis zur Stückzahl 1 durch die Verknüpfung von Mikroaufbautechniken und Industrie 4.0-Konzepten
Autoren:
Fritz, K.-P.; Barth, M.; Schwenck, A.; Polzinger, B.; Pütz, J.; Kessler, U.; Zimmermann, A.
Konferenz:
MikroSystemTechnik 2015 - MikroSystemTechnik Kongress 2015
14
Poröses LTCC als Substratmaterial für Höchstfrequenzradarsensoren
Autoren:
Bittner, Achim; Steinhäußer, Frank; Talai, Armin; Koelpin, Alexander; Weigel, Robert; Rittweg, Thomas; Schwanke, Dieter; Sandulache, Gabriela; Hansal, Wolfgang; Schmid, Ulrich
Konferenz:
MikroSystemTechnik 2015 - MikroSystemTechnik Kongress 2015
15
Proteindetektion mittels Quarz-Kristall-Mikrowaagen
Autoren:
Thies, Jan-Wilhelm; Thies, Jan-Wilhelm; Kuhn, Philipp; Kuhn, Philipp; Masthoff, Ingke-Christine; Masthoff, Ingke-Christine; Schulze, Torben; Schulze, Torben; Rustenbeck, Ingo; Rustenbeck, Ingo; Garnweitner, Georg; Garnweitner, Georg; Dübel, Stefan; Dübel, Stefan; Dietzel, Andreas; Dietzel, Andreas
Konferenz:
MikroSystemTechnik 2015 - MikroSystemTechnik Kongress 2015
16
Resonant actuation concept for the manipulation of upper turbulent boundary layer
Autoren:
Mansoor, M.; Köble, S.; Goldschmidtböing, F.; Woias, P.
Konferenz:
MikroSystemTechnik 2015 - MikroSystemTechnik Kongress 2015
17
Robuste Erkennung von kombinierten Positions- und Identifizierungs-Mikromarkierungen
Autoren:
Förtsch, Tobias C.; Bojnicic-Kninski, Clemens von; Khan, M. Shahbaz; Märkle, Frieder; Weber, Laura K.; Fischer, Andrea; Münster, Bastian; Ridder, Barbara; Althuon, Daniela; Striffler, Jakob; Sedlmayr, Martyna; Bykovskaya, Valentina; Popov, Roman; Soehindrijo, Miriam; Breitling, Frank; Löffler, Felix F.; Nesterov-Müller, Alexander
Konferenz:
MikroSystemTechnik 2015 - MikroSystemTechnik Kongress 2015
18
Rolle zu Rolle geprägte Mikrofluidik-Chips mit vollständig gedruckten Fotosensoren
Autoren:
Rödlmeier, T.; Rödlmeier, T.; Eschenbaum, C.; Eschenbaum, C.; Eckstein, R.; Eckstein, R.; Döringer, H.; Valouch, S.; Valouch, S.; Hernandez-Sosa, G.; Hernandez-Sosa, G.; Lemmer, U.
Konferenz:
MikroSystemTechnik 2015 - MikroSystemTechnik Kongress 2015
19
Röntgenoptische Messung des Seitenwandwinkels direktlithografischer refraktiver Röntgenlinsen
Autoren:
Last, Arndt; Márkus, Ottó; Georgi, Sebastian; Mohr, Jürgen
Konferenz:
MikroSystemTechnik 2015 - MikroSystemTechnik Kongress 2015
20
Selbstkalibrierendes Ultraschallsystem für die Lokalisierung mobiler Einheiten in der Intralogistik
Autoren:
Traub-Ens, Alexander; Bordoy, Joan; Wendeberg, Johannes; Höflinger, Fabian; Schindelhauer, Christian; Reindl, Leonhard M.
Konferenz:
MikroSystemTechnik 2015 - MikroSystemTechnik Kongress 2015