1
120° Doppelspiegel aus Silizium für den Einsatz in einem MOEMS-Gyroskop
Autoren:
Niesel, Thalke; Dietzel, Andreas
Konferenz:
Mikrosystemtechnik 2013 - Von Bauelementen zu Systemen
2
3D-Assemblierungsverfahren für intrakortikale Sondenarrays
Autoren:
Barz, Falk; Paul, Oliver; Ruther, Patrick
Konferenz:
Mikrosystemtechnik 2013 - Von Bauelementen zu Systemen
3
7mm-MEMS-Spiegel für einen omnidirektionalen Laserscanner
Autoren:
Hofmann, Ulrich; Senger, Frank; Stenchly, Vanessa; Hagge, Jürgen; Mallas, Christian; Wantoch, Thomas von; Janes, Joachim; Benecke, Wolfgang
Konferenz:
Mikrosystemtechnik 2013 - Von Bauelementen zu Systemen
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Absolute Positionsbestimmung mit magnetoresistiven Sensoren
Autoren:
Voss, A.; Meisenberg, A.; Pieper, R.; Bartos, A.
Konferenz:
Mikrosystemtechnik 2013 - Von Bauelementen zu Systemen
5
Absolute Positionsbestimmung mit magnetoresistiven Sensoren
Autoren:
Voss, A.; Meisenberg, A.; Pieper, R.; Bartos, A.
Konferenz:
Mikrosystemtechnik 2013 - Von Bauelementen zu Systemen
6
Adaptive Mikrolinsen basierend auf Aluminiumnitrid Membranen
Autoren:
Leopold, Steffen; Pätz, Daniel; Sinzinger, Stefan; Hoffmann, Martin
Konferenz:
Mikrosystemtechnik 2013 - Von Bauelementen zu Systemen
7
AlN auf flexiblem Substrat für langzeitstabile, energieautonome Sensorsysteme
Autoren:
Hau, S.; Marschibois, M.; Seidel, H.; Feili, D.
Konferenz:
Mikrosystemtechnik 2013 - Von Bauelementen zu Systemen
8
AMR vs. GMR vs. TMR – Eigenschaften, Unterschiede, Anwendungen
Autoren:
Doms, Marco; Paul, Johannes; Lehndorff, Ronald; Grimm, Hubert
Konferenz:
Mikrosystemtechnik 2013 - Von Bauelementen zu Systemen
9
Angepasste Piezosensorelektronik und integrierte drahtlose Sensornetzwerke zur Herstellung intelligenter Leichtbauteile
Autoren:
Weder, Andreas; Geller, Sirko; Fischer, Wolf-Joachim
Konferenz:
Mikrosystemtechnik 2013 - Von Bauelementen zu Systemen
10
Anwendung eines HF-Gasphasenätzprozesses zum Freilegen von monolithisch integrierten RF-MEMS-Schaltern
Autoren:
Göritz, A.; Fraschke, M.; Drews, J.; Wietstruck, M.; Tolunay, S.; Kaynak, M.; Tillack, B.
Konferenz:
Mikrosystemtechnik 2013 - Von Bauelementen zu Systemen
11
Anwendungen Chip-basierter photonischer Systeme aus amorphem Silizium in der Kommunikationstechnik und der Bio-Sensorik
Autoren:
Lipka, Timo; Amthor, Julia; Trieu, Hoc Khiem; Müller, Jörg
Konferenz:
Mikrosystemtechnik 2013 - Von Bauelementen zu Systemen
12
Aufbau konfigurierbarer Kamera-Mikrosysteme durch Kombination mikrotechnischer Verfahren
Autoren:
Barth, M.; Beyer, S.; Graf, H.-G.; Scheithauer, H.; Keßler, U.; Eberhardt, W.; Kück, H.
Konferenz:
Mikrosystemtechnik 2013 - Von Bauelementen zu Systemen
13
Automatisierte elektrochemische On-Chip-Medikamentenüberwachung mit Mikropartikeln auf integrierten Magnetstrukturen
Autoren:
Moschallski, Meike; Templin, Markus; Maier, Sandra; Stelzle, Martin; Becker, Holger; Möller, Andreas; Boven, Karl-Heinz
Konferenz:
Mikrosystemtechnik 2013 - Von Bauelementen zu Systemen
14
Automatisierte Vor-Ort-Detektion von Botulinum Toxin auf der LabDisk Plattform
Autoren:
Oordt, T. van; Stevens, G.; Vashist, S.; Urban, G.; Zengerle, R.; Stetten, F. von
Konferenz:
Mikrosystemtechnik 2013 - Von Bauelementen zu Systemen
15
Automatisierung der DNA Extraktion aus Vollblut unter Verwendung magnetischer Partikel auf der LabDisk Plattform
Autoren:
Wadle, S.; Strohmeier, O.; Rombach, M.; Mark, D.; Zengerle, R.; Stetten, F. von
Konferenz:
Mikrosystemtechnik 2013 - Von Bauelementen zu Systemen
16
Autonomes Sensorsystem für differenzierte Bewegungsanalysen
Autoren:
Beißner, S.; Dzido, R.; Elbel, T.; Kang, Z.; Lastzka, N.; Niehe, S.; Nowoisky, H.
Konferenz:
Mikrosystemtechnik 2013 - Von Bauelementen zu Systemen
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Bestimmung thermomechanischer Werkstoffeigenschaften von photosensitiven Polymeren mit hohem Aspektverhältnis für MEMS
Autoren:
Vogel, Jürgen; Feige, Hans-Jürgen; Saupe, Jens; Grützner, Gabi; Grimm, Jürgen
Konferenz:
Mikrosystemtechnik 2013 - Von Bauelementen zu Systemen
18
Betrachtungen zum Trocknungsverhalten mehrschichtiger Photoresistsysteme
Autoren:
Schönfeld, M.; Schubert, S.; Saupe, J.; Grimm, J.
Konferenz:
Mikrosystemtechnik 2013 - Von Bauelementen zu Systemen
19
Charakterisierung des Schrumpfs von SU-8 für intrinsisch vorgespannte Mikrostrukturen
Autoren:
Winterstein, T.; Schlaak, H. F.
Konferenz:
Mikrosystemtechnik 2013 - Von Bauelementen zu Systemen
20
CMOS basierte Mikrosystemplattformen - Integrierte Hochfrequenz-, MEMS- und Photonic-Module
Autoren:
Mai, A.; Tillack, B.; Knoll, D.; Heinemann, B.; Kaynak, M.; Lischke, S.; Sorge, R.; Zimmermann, L.; Mehr, W.
Konferenz:
Mikrosystemtechnik 2013 - Von Bauelementen zu Systemen