VDE e.V.; BMBF (Ed.)

MikroSystemTechnik Kongress 2019

Mikroelektronik | MEMS-MOEMS | Systemintegration – Säulen der Digitalisierung und künstlichen Intelligenz 28. – 30. Oktober 2019 in Berlin

2019, 772 pages, 140 x 124 mm, Slimlinebox, CD-Rom
ISBN 978-3-8007-5090-0, e-book: ISBN 978-3-8007-5129-7
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Content Foreword

Die Digitalisierung schreitet ungebremst voran. Ein wesentlicher Aspekt ist dabei die Online-Verbindung und -Vernetzung von Gegenständen und Prozessen, was sich bei den Themen wie Internet der Dinge (Internet of Things) oder bei Industrie 4.0 manifestiert. Die radikalen Veränderungen erahnen wir schon heute, wenn wir Smartphones, elektronische Ausweise, smarte Armbänder, aber auch vernetzte Produktionsgeräte oder autonom fahrende Autos betrachten. Selbst in der Medizin bieten immer kleiner werdende Elektroniksysteme (Implantate, Wearables) einen unverzichtbaren Komfort für Menschen. Die Palette wird sich extrem erweitern, wenn z. B. Anwendungen des maschinellen Lernens oder die Nutzung von künstlicher Intelligenz zunehmen.

Der MikroSystemTechnik Kongress ist die herausragende nationale Plattform im Bereich der Mikroelektronik, Mikrosystem- und Feinwerktechnik. Deutschland hat hier dank seiner gut aufgestellten industriellen Basis eine starke Stellung: von MEMS und Chipherstellern über Systemhäuser, die Komplettlösungen anbieten, bis hin zu vielen mittelständischen Unternehmen, die ein breites Spektrum an Sensor- und Mikrosystemen abdecken. Flankierend dazu existiert ein breites Netzwerk an Universitäten und Forschungseinrichtungen, wo derzeit mit Blick auf das Trendthema „Internet of Things" (IoT) verstärkt Schwerpunkte im Bereich der Sensorik und Mikrosysteme gesetzt und neue Professuren und Forschungsbereiche eingerichtet werden.
VDE – Verband der Elektrotechnik Elektronik Informationstechnik e.V.
Der VDE ist einer der großen europäischen Verbände für Branchen und Berufe der Elektro- und Informationstechnik. Eine internationale Experten-Plattform für Wissenschaft, Normung und Produktprüfung – interdisziplinär, eng verflochten, und einmalig auf der Welt. Eine geballte Konzentration an Erfahrung, Marktkenntnissen und technologischem Know-how.

Bundesministerium für Bildung und Forschung

1

Wafer- und Chipintegration mittels reaktiver CuO/Al Multilagensysteme

Authors:
Vogel, Klaus; Hertel, Silvia; Bender, Hannes; Roscher, Frank; Zimmermann, Sven; Wiemer, Maik

2

MEMS basierte magnetische passive Mikrobauteile für Hochfrequenz-Leistungsanwendungen

Authors:
Dinulovic, Dragan; Shousha, Mahmoud; El Shafey, Khaled; Haug, Martin; Wurz, Marc Christopher

3

Reaktive Multischichtsysteme – ein innovatives Fügeverfahren zur Erzielung hermetisch dichter Verbindungen

Authors:
Schumacher, Axel; Knappmann, Stephan; Dietrich, Georg; Pflug, Erik; Dehé, Alfons

4

Plattformkonzept zum Aufbau von hochintegrierten Multisensorknoten

Authors:
Becker, Karl-Friedrich; Böttcher, Mathias; Schiffer, Michael; Pötter, Harald; Brockmann, Carsten; Freimund, Damian; Tschoban, Christian; Windrich, Frank; Braun, Tanja; Hopsch, Fabian; Heinig, Andy; Voigt, Sven; Baum, Mario; Hofmann, Lutz; Lang, Klaus-Dieter

5

Die Realisierung von Umverdrahtungslagen mittels Inkjet-Printing im Fan-Out Wafer Level Packaging

Authors:
Dreissigacker, Marc; Roshanghias, Ali; Becker, Karl-Friedrich; Braun, Tanja; Schneider-Ramelow, Martin; Lang, Klaus-Dieter

6

Ein neuer Prozess für die Herstellung von Silberdünnschichten mittels Atomlagenabscheidung

Authors:
Boysen, Nils; Hasselmann, Tim; Riedl, Thomas; Devi, Anjana

7

8

Chemische Gasphasenabscheidung von 2D Übergangsmetall Dichalkogeniden für mikroelektronische Anwendungen

Authors:
Wree, Jan-Lucas; Berning, Thomas; Bock, Claudia; Devi, Anjana

9

10

11

Mikrofluidische poröse Membranen für die Untersuchung von Ionenkanälen auf Basis von Trockenflim-Photoresist

Authors:
Khoury, Mario El; Winterstein, Tobias; Weber, Wadim; Stein, Viktor; Thiel, Gerhard; Schlaak, Helmut F.

12

Piezoelectric MEMS Sensors for the Detection of Weak Magnetic Signals with Adjustable Resonance

Authors:
Su, Jingxiang; Niekiel, Florian; Fichtner, Simon; Kirchhof, Christine; Meyners, Dirk; Quandt, Eckhard; Wagner, Bernhard; Lofink, Fabian

13

Piezoresistive Microcantilever for Gravimetric Particulate Matter Monitoring

Authors:
Bertke, Maik; Xu, Jiushuai; Setiono, Andi; Peiner, Erwin; Kirsch, Ina; Uhde, Erik

14

A Flow-through-cell Module containing inexpensive ChemFETs for Differential pH-sensing in Aqueous Solutions

Authors:
Mokhtarifar. Naser; Goldschmidtboeing, Frank; Woias, Peter

15

Mikromechanischer Analog-Digital Wandler zur Digitalisierung mechanischer Verschiebungen

Authors:
Schmitt, Philip; Tsivin, Nick; Hoffmann, Martin

16

Rapid-Prototyping Prozess für stark asphärische Mikrolinsen-Arrays

Authors:
Müller, Angelina; Wapler, Matthias C.; Wallrabe, Ulrike

17

Piezoelektrischer Mikrospiegel mit großem Scanwinkel, basierend auf Dünnschicht-Aluminiumnitrid

Authors:
Meinel, Katja; Stoeckel, Chris; Melzer, Marcel; Zimmermann, Sven; Forke, Roman; Hiller, Karla; Otto, Thomas

18

Optimierung eines nanofluidischen Beugungsgitters zur Detektion von spezifischen Biomolekülen

Authors:
Purr, Foelke; Burg, Thomas P.; Dietzel, Andreas

19

Integration of complex miniaturized optical systems by place and bend assembly

Authors:
Grueger, Heinrich; Knobbe, Jens; Meyer, Sebastian

20

21

22

Mikro- und Nanotechnologien zur Herstellung steuerbarer optischer Filter

Authors:
Hiller, Karla; Helke, Christian; Seifert, Mario; Seiler, Jan; Kurth, Steffen; Meinig, Marco; Otto, Thomas

23

AMR Sensoren auf flexiblem Substrat zur Messung von Verformungen eines hartmagnetischen Partikel-Elastomerverbunds

Authors:
Prediger, Maren S.; Wittek, Christian-Gabriel R.; Owiss, Ghadeer; Wurz, Marc Christoper

24

Minaturisierter CO2 Gassensor auf Basis der Photoakustischen Spektroskopie

Authors:
Gassner, Simon; Eberl, Matthias; Kolb, Stefan; Wöllenstein, Jürgen

25

Beschleunigungssensoren mit großer Bandbreite und geringer Leistungsaufnahme für industrielle Anwendungen

Authors:
Forke, Roman; Hiller, Karla; Küchler, Matthias; Hahn, Susann; Weidlich, Sebastian; Konietzka, Stefan; Motl, Tim; Praedicow, Alexander; Otto, Thomas

26

Hochdruckstabile direkte Anbindung 3D gedruckter Mikrodüsen auf einen Silizium-Glas-Fluidik-Chip

Authors:
Bohne, Sven; Heymann, Michael; Chapman, Henry; Bajt, Sasa; Trieu, Hoc Khiem

27

Glassomer – Quarzglas wie einen Kunststoff formen

Authors:
Kotz, Frederik; Striegel, Andreas; Risch, Patrick; Worgull, Matthias; Helmer, Dorothea; Rapp, Bastian E.

28

Miniaturisierung 3D gedruckter keramischer Bauteile via Fused Filament Fabrication (FFF)

Authors:
Nötzel, Dorit; Eickhoff, Ralf; Hanemann, Thomas

29

Numerical Investigation of Anodic Bonding for Stress Sensitive MEMS Device

Authors:
Hu, Xiaodong; Schiffer, Michael; Schneider-Ramelow, Martin; Lang, Klaus-Dieter

30

31

Graphen-Elektroden für den Einsatz in Metalloxid-Dünnfilmtransistoren

Authors:
Bock, Claudia; Subaşi, Ersoy; Berning, Thomas; Pham, Duy Vu; Kunze, Ulrich

32

33

High-performance integrated hard magnets for MEMS applications

Authors:
Bodduluri, Mani Teja; Lisec, Thomas; Blohm, Lars; Lofink, Fabian; Wagner, Bernhard

34

Trockenchemisches Freistellen von Mikrostrukturen in der Glaskeramik Zerodur

Authors:
Weigel, Christoph; Sinzinger, Stefan; Strehle, Steffen; Hoffmann, Martin

35

Functional carbon nanotubes for MEMS applications: Miniaturized strain sensor and black coating for infrared devices

Authors:
Boettger, Simon; Bonitz, Jens; Al-Falahi, Falah; Schulz, Stefan E.; Hermann, Sascha

36

37

Universelle Stellplattform für die optische Charakterisierung und Bekopplung von photonischen Chips

Authors:
Lewoczko-Adamczyk, Wojciech; Brauda, Daniel; Böttger, Gunnar; Schröder, Henning

38

39

Elektrooptische Systemintegration für optische Chip-to-Chip-Kurzstreckenverbindungen

Authors:
Nieweglowski, Krzysztof; Lorenz, Lukas; Tiedje, Tobias; Lüngen, Sebastian; Bock, Karlheinz

40

Mesoskopische Flüstergaleriemodenresonatoren im sichtbaren Spektrum auf Basis von Silizium Mikrostrukturierung

Authors:
Behrens, Arne; Fesser, Patrick; Kreismann, Jakob; Hentschel, Martina; Sinzinger, Stefan

41

Piezoelektrische MEMS-Lautsprecher für In-Ear-Anwendungen

Authors:
Stoppel, Fabian; Männchen, Andreas; Niekiel, Florian; Beer, Daniel; Giese, Thorsten; Pieper, Isa; Kaden, Dirk; Grünzig, Sven; Wagner, Bernhard

42

Ultraschnelle und ultrakompakte adaptive Linsen

Authors:
Wapler, Matthias C.; Wallrabe, Ulrike

43

Modenkopplung in Mikrospiegeln: Modellierung & Validierung

Authors:
Nabholz, Ulrike; Stockmar, Florian; Mehner, Jan E.; Degenfeld-Schonburg, Peter

44

Entwurf, Fabrikation und Test einer 3-DOF-Positionierplattform mit thermischen Aktoren

Authors:
Voigt, Sebastian; Freitag, Markus; Krishna, Varsha; Hahn, Susann; Hiller, Karla; Mehner, Jan

45

MEMS Aktuator-Array mit Kammantrieb und verbesserter Linearität

Authors:
Neudert, Andreas; Felsberg, Linda; Dürr, Peter

46

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48

Multisensor-Implantat zur Überwachung der Hämodynamik

Authors:
Dogan, Özgü; Schierbaum, Nicolas; Weidenmüller, Jens; Baum, Mario; Görtz, Michael; Seidl, Karsten

49

Low-Power Neurostimulator ASIC mit frei konfigurierbarer Pulsform Neural Stimulator ASIC with Programmable Pulse Shapes

Authors:
Taschwer, Armin; Butz, Natalie; Köhler, Manuel; Rossbach, Daniel; Manoli, Yiannos

50

Mikrogefertigter Wandler für die Implantat-zu-Implantat-Kommunikation per Ultraschall

Authors:
Velten, Thomas; Knoll, Thorsten; Sossalla, Adam; Oevermann, Jorge; Weber, Peter; Tiefensee, Frank; Hoffmann, Klaus-Peter

51

Einstieg in ein akustisches Tomographiesystem zur Bestimmung des Gasgehaltes

Authors:
Elfering, Michael; Borgmann, Dennis; Czajka, Holger; Jantzen, Hans-Arno; Annas, Sven; Janoske, Uwe

52

53

54

55

Flexible Foliensysteme für Industrie 4.0

Authors:
Harendt, Christine; Schreivogel, Alina; Albrecht, Björn; Deuble, Thomas; Elsobky, Mourad; Ferwana, Saleh; Kostelnik, Jan; Burghartz, Joachim

56

Mikrofluidischer Sensor zur Überwachung des Sauerstoffverbrauchs und der Sauerstoffproduktion von Algen

Authors:
Konermann, Camilla; Bunge, Frank; van den Driesche, Sander; Waespy, Mario; Mirastschijski, Ursula; Kelm, Sorge; Waite, Anja; Vellekoop, Michael J.

57

Intelligenter Werkstückträger mit Inertialsensorik zum Überwachen und Optimieren von Fertigungsprozessen

Authors:
Forke, Roman; Forke, Erik; Alaluss, Mohaned Khaled; Weidlich, Sebastian; Bülz, Daniel

58

59

Verkapselung von elektronischen Modulen für aggressive Medien

Authors:
Bihler, Eckardt; Hauer, Marc; Ostojic, Zoran

60

Chip-Film Patch – Packaging Technologie zum Einbetten ungehäuster, funktionaler Siliziumchips in extrem dünne Folien

Authors:
Albrecht, Björn; Elsobky, Mourad; Moser, Matthias; Ferwana, Saleh; Harendt, Christine; Burghartz, Joachim

61

Flip-Chip-Montage zum Aufbau von Differenzdrucksensoren

Authors:
Frank, Thomas; Cyriax, Andrea; Wünscher, H.; Grün, Andre; Jagomast, S.; Maier, Christian; Völlmeke, Stefan; Herbst, S.; Ortlepp, Thomas

62

63

Methode für den Vorhalt von inhomogenen Schwindungen im Entwurfsprozess von LTCC-Mikrosystemen

Authors:
Lenz, Christian; Strach, Nicole; Ziesche, Steffen; Partsch, Uwe; Michaelis, Alexander

64

Robustheitsoptimierung von MEMS-basierten Sensorschaltungen

Authors:
Burcea, Florin; Herrmann, Andreas; Li, Bing; Graeb, Helmut

65

66

Modellierung der Fluiddämpfung unkonventioneller Schwingungsmoden in MEMS-Resonatoren

Authors:
Platz, Daniel; Gesing, André L.; Schmid, Ulrich

67

ADMONT: Advanced Distributed Pilot Lines for More-than-Moore Technologies

Authors:
Stegemann, Karl-Heinz; Gaertner, Roberto

68

SAM³: New Failure Analysis Methods for Heterogeneous Systems

Authors:
Schweinboeck. Thomas; Pressel, Klaus; Altmann, Frank; Hoffrogge, Peter; Grimm, Michael; Keiper, Bernd

69

Ein modularer Radar-Chipsatz für 77 GHz MIMO Anwendungen

Authors:
Schöpfel, Jan; Küppers, Simon; Aufinger, Klaus; Pohl, Nils

70

Entwicklung eines MIMO-Radarfrontends auf Glasinterposer Basis fürs autonome Fahren

Authors:
Tschoban, Christian; Fritsche, Carola; Böttcher, Matthias; Steller, Wolfram; Ndip, Ivan; Pötter, Harald

71

Solid-State LiDAR: Umgebungssensorik für sicheres autonomes Fahren

Authors:
Amelung. Jörg; Galle, Christoph

72

Schwingungsanalyse von Chipaufbauten mit Überhangstrukturen hinsichtlich der Bondbarkeit

Authors:
Dobs, Tom; Höfer, Jan; Helmich, Lars; Hunstig, Matthias; Lang, Klaus-Dieter

73

Ein 240 GHz FMCW Radarsensor für hochauflösende Messungen in SiGe mit integrierten Antennen

Authors:
Thomas, Sven; Bredendiek, Christian; Pohl, Nils

74

Herstellung extrem kleiner Batterien mit Dünnwafer-Bondprozessen

Authors:
Hahn, Robert; Hoeppner, Katrin; Ferch, Marc; Zoschke, Kai; Lang, Klaus-Dieter

75

76

Glas-Chips zur Messung der Wärmeleitfähigkeit

Authors:
Grosse, Corinna; Abo Ras, Mohamad; May, Daniel; Wöhrmann, Markus; Bader, Volker; Bauer, Jörg; Wunderle, Bernhard

77

Bestimmung der dynamischen Viskosität von Bitumenderivaten bis 64000 mPa∙s mit piezoelektrischen MEMS-Resonatoren

Authors:
Pfusterschmied, Georg; Weinmann, Christoph; Schneider, Michael; Hospodka, Markus; Mirwald, Johannes; Hofko, Bernhard; Schmid, Ulrich

78

Entwicklung eines neuartigen, quantitativen Adhäsionsmessverfahren für Dünnfilmlagen in der Mikroelektronik

Authors:
Wöhrmann, Markus; Töpper, Michael; Schneider-Ramelow, Martin; Lang, Klaus-Dieter

79

Ionenmobilitätsspektrometer mit FAIMS-Filter in MEMS-Technologie

Authors:
Graf, Alexander; Hild, Olaf R.

80

Mikroozon - thermal flow sensors and ozone generating electrodes for water cleaning applications

Authors:
Knieling, Thomas; Laske, Norman; Rasmusssen, Mats; Samson, Jule; Muehler, Tobias; Behrendt-Fryda, Barbara; Blohm, Lars; Nebling, Eric

81

82

Kaskadiertes Elastokalorisches Kühlsystem

Authors:
Bruederlin, Florian; Bumke, Lars; Kohl, Manfred

83

Antiferroelektrische, eingebettete Dünnschichtkondensatoren als Energiespeicher für autarke Sensorelemente

Authors:
Czernohorsky, Malte; Weder, Andreas; Mart, Clemens; Falidas, Konstantinos; Kühnel, Kati; Viegas, Alison E.; Holland, Hans-Jürgen; Weinreich, Wenke

84

85

3D-Bio-Net: eine generische Plattform für die Herstellung von künstlichem Gewebe

Authors:
Jankowski, Damaris; Neuy, Christine; Koltay, Peter

86

Audio-Transducer for In-Ear-Applications based on CMOS-compatible electrostatic actuators

Authors:
Spitz, Barbara; Wall, Franziska; Schenk, Hermann; Melnikov, Anton; Ehrig, Lutz; Langa, Sergiu; Stolz, Michael; Kaiser, Bert; Conrad, Holger; Schenk, Harald

87

Nicht-invasives Rehabilitationssystem für irreparable Nervenschädigungen im Handgelenksbereich

Authors:
Bücheler, Laura; Hillmer, Isabella; Reimer, Vladislav; Yi, Jiang; Angelmahr, Martin; Schade, Wolfgang; von Krshiwoblozki, Malte; Pawlikowski, Jakub; Garbacz, Kamil; Stagun, Lars; Fischer, Maike; Guttowski, Stephan

88

Entwicklung einer Feldemitter-basierten Vakuumelektronenquelle für Ionisationsmanometer in kryogenen XHV Umgebungen

Authors:
Bieker, Johannes; Wick, Konja; Schlaak, Helmut F.; Wilfert, Stefan

89

Optische Charakterisierungsmethoden von siliziumbasierten MEMS mit verdeckten Strukturen

Authors:
Stolz, Michael; Mrosk, Andreas; Kaiser, Bert; Langa, Sergiu; Ehrig, Lutz; Conrad, Holger; Gaudet, Matthieu; Schenk, Harald

90

Erweiterung des Anwendungsbereiches von Siliziumdehnungssensoren durch Montageträger

Authors:
Frank, Thomas; Cyriax, Andrea; Grün, Andre; Kermann, Manuel; Jagomast, Stefan; Maier, Christian; Ortlepp, Thomas

91

Verwölbung in der Systemintegration – Status und zukünftige Herausforderungen

Authors:
Wittler, Olaf; van Dijk, Marius; Grams, Arian; Huber, Saskia; Rost, Florian; Walter, Hans; Lang, Klaus-Dieter

92

Modellierung, Fertigung und Erprobung einer neuartigen EWOD-betriebenen Mikropumpe

Authors:
Bohm, Sebastian; Dittrich, Lars; Runge, Erich

93

Piezoelektrisch angetriebene Silizium Mikropumpe der Baugröße 3,5 x 3,5 x 0,6 mm3

Authors:
Richter, Martin; Leistner, Henry; Congar, Yuecel; Drost, Andreas; Kibler, Sebastian; Röhl, Siegfried; Wackerle, Martin

94

Mikroloch-Chips mit Porenmembranen aus Polyimid

Authors:
Velten, Thomas; Knoll, Thorsten; Emge, Dominik

95

Aktive Kühlung unter Verwendung von Fluidkanälen in einem Silizium- Keramik-Verbundsubstrat

Authors:
Fischer, Michael; Werthes, Tobias; Kleinholz, Cathleen; Müller, Jens

96

100-Gb/s SiGe C hips für das 6G Mobilfunknetz der Zukunft

Authors:
Pfeiffer, Ullrich R.; Rodríguez-Vázquez, Pedro; Grzyb, Janusz; Heinemann, Bernd

97

Compact Wideband Wilkinson Power Divider in Thin-Film Glass Technology for 5G Applications

Authors:
Murugesan, Kavin Senthil; Voigt, Thomas; Tschoban, Christian; Rossi, Marco; Ndip, Ivan; Lang, Klaus-Dieter; Naedele, Dirk; Student, Ralf; Dengler, Dominik

98

Indiumphosphid-Resonante Tunneldioden für THz-Anwendungen

Authors:
Weimann. Nils; Arzi, Khaled; Clochiatti, Simone; Prost, Werner

99

Fertigungstechnologie zur Herstellung von Silizium basierten MEMS-Schaltern

Authors:
Schwarz, Markus; Lambrecht, Franziska; Seidel, Helmut

100

Verwendung von perowskitischen Niobaten als potentielle Feuchtigkeitssensoren

Authors:
Frey, Marco; Wen, Yusi; Jund, Felix; Hanemann, Thomas

101

Untersuchung von ScAlN für piezoelektrische und ferroelektrische Anwendungen

Authors:
Petrich, Rebecca; Bartsch, Heike; Tonisch, Katja; Jaekel, Konrad; Barth, Stephan; Bartzsch, Hagen; Glöß, Daniel; Delan, Annekatrin; Krischok, Stefan; Strehle, Steffen; Hoffmann, Martin; Müller, Jens

102

103

μPIV Messungen an DLD Mikroarrays zur Partikelfraktionierung bei Re > 1

Authors:
Kottmeier, Jonathan; Wullenweber, Maike; Blahout, Sebastian; Hussong, Jeanette; Kwade, Arno; Dietzel, Andreas

104

Al1-xScxN thin films for pyroelectric IR detectors

Authors:
Broeker, Sebastian; Fichtner, Simon; Bette, Sebastian; Tiedke, Stephan; Tappertzhofen, Stefan; Wagner, Bernhard

105

Bioinspirierte Funktionsmaterialien als Aktor und Sensor

Authors:
Eger, Carmen; Scherag, Frank D.; Prucker, Oswald; Rühe, Jürgen

106

Hydrogel-basierte Sensoroberflächen für bioanalytische Anwendungen in Mikrotiterplatten

Authors:
Straub, Alexander J.; Scherag, Frank D.; Brandstetter, Thomas; Rühe, Jürgen

107

108

Entwicklung eines BIOMEMS-Sensors für die Vor-Ort-Diagnose auf Basis der Detektion von Frequenzverschiebungen der Biegewellen von funktionalisierten Membranen

Authors:
Walk, Christian; Wiemann, Matthias; Görtz, Michael; Weidenmüller, Jens; Jupe, Andreas; Seidl, Karsten

109

Passive fluid transport by cryogel filled capillaries for the realization of POC assays

Authors:
Fosso, Patrick; Zinggeler, M.; Brandstetter, T.; Ruehe, J.

110

Optimierung eines Biegeplattenwellensensors für hohe Eindringtiefe und Sensitivität

Authors:
Thewes, Anna C.; Weigel, Christoph; Barowski, Jan; Hoffmann, Martin

111

112

113

Spektral durchstimmbarer Mikrosensor für die Gasanalyse

Authors:
Thronicke, Nicole; Mitrenga, Dennis; Karolewski, Dominik; Winzer, Andreas T.; Klein, Thomas; Neckermann, Kristin; Ortlepp, Hans-Georg; Ortlepp, Thomas; Grewe, Adrian; Sinzinger, Stefan

114

Miniaturized porous silicon rugate filter wheel for multispectral imaging applications

Authors:
Keshavarzi, Shervin; Kovacs, Andras; Abdo, Mohammad; Badilita, Vlad; Korvink, Jan Gerrit; Mescheder, Ulrich M.

115

Nanostrukturierte Beugungsgitter als angepasste integrierbare Polarisationsstrahlteiler

Authors:
Wüster, Julian; Bourgin, Yannick; Feßer, Patrick; Si, Shuhao; Sinzinger, Stefan

116

Polymerbasierter wellenleiterintegrierter DFB Laser

Authors:
Becker, Jing; Čehovski, Marko; Caspary, Reinhard; Johannes, Hans-Hermann; Kowalsky, Wolfgang; Müller, Claas

117

Ultraflaches Multi-Apertur-Mikroskop

Authors:
Schacke, Stephan; Berlich, René; Höfer, Bernd; Dannberg, Peter; Schreiber, Peter; Zaage, Ben; Beckert, Erik; Danz, Norbert

118

VCSEL Burn In auf Leiterplattenebene für die Herstellung Aktiver Optischer Kabel und optischer Transceiver

Authors:
Gaul, Holger; Klinkicht, Sven; Eichler, Alexander; Lassalle, Alexander

119

Herstellungsverfahren universeller Faser-zu-Freistrahl-Koppler (Kollimatoren)

Authors:
Heidrich, Christoph; Weber, Daniel; Arndt-Staufenbiel, Norbert; Lewoczko-Adamczyk, Wojciech; Böttger, Gunnar; Schröder, Henning

120

Porous silicon based antireflection coating for the MWIR range

Authors:
Keshavarzi, Shervin; Kovacs, Andras; Mescheder, Ulrich M.

121

Toleranzanalyse für photonische Kristalle aus Silizium

Authors:
Baldauf, Julia; Thronicke, Nicole; Ortlepp, Thomas

122

Hochtemperatur-feste nanostrukturierte IR-Emitter

Authors:
Wedrich, Karin; Müller, Lutz; Magi, André; Magi, André; Biermann, Steffen; Koppert, Ralf; Hoffmann, Martin

123

Entwicklung einer integrierten mikroelektromechanischen Pumpe für mobile Anwendungen

Authors:
Seidl, Martin; Schrag, Gabriele; Tumpold, David

124

Pneumatischer Low-Cost-Mikroaktor auf Basis einer elastischen Membran, hergestellt durch Dipping

Authors:
Gursky, Benjamin; Leester-Schädel, Monika; Dietzel, Andreas

125

The concept of a large working stroke reluctance zipper actuator

Authors:
Glukhovskoy, Anatoly; Wurz, Marc Christopher

126

Hocheffizienter Auf-/Abwärtswandler für eine piezoelektrisch angetriebene Linse

Authors:
Chandrashekar, Akash Palthad; Schillinger, Daniel; Hehn, Thorsten; Manoli, Yiannos

127

Herstellung nano-skalierter Gassensoren unter Verwendung neuer Metalloxid-ALD-Precursormaterialien

Authors:
Knauß, Anna M.; Dietz, Dorothee; Jupe, Andreas; Kappert, Holger; Vogt, Holger; Mai, Lukas; Devi, Anjana

128

Informationsverarbeitung mit Maschinellem Lernen für Taktile Sensoren

Authors:
Kühn, Jan; Jäger, Joas; Kuhl, Matthias; Manoli, Yiannos

129

Einfluss molekularer Freiheitsgrade auf das Dämpfungsverhalten von Mikrooszillatoren im molekularen Strömungsbereich

Authors:
Zengerle, Tobias; Joppich, Julian; Ababneh, Abdallah; Schwarz, Patrick; Bauer, Karin; Seidel, Helmut

130

Federdesign eines integrierten, elektrostatisch aktuierbaren Ventils hergestellt mittels 2-Photonen Polymerisation

Authors:
Reede, Sina; Bunge, Frank; Oellers, Martin; Vellekoop, Michael J.

131

132

133

PMMA Filled Through-Silicon Vias (TSVs) and Back Etch Process Controlled by Plasma Emission Interferometry

Authors:
Villasmunta, Francesco; Steglich, Patrick; Mai, Christian; Heinrich, Friedhelm; Ksianzou, Viachaslau; Schrader, Sigurd; Mai, Andreas

134

Atomchips mit integrierten optischen Gittern zur Erzeugung von Bose-Einstein-Kondensaten

Authors:
Kassner, Alexander; Dencker, Folke; Künzler, Christoph; Heine, Hendrik; Herr, Waldemar; Christ, Marc; Krutzik, Markus; Rasel, Ernst M.; Wurz, Marc Christopher

135

Numerische und experimentelle Betrachtung des Molded Underfills

Authors:
Paetsch, Melanie B.; Nguyen, Thanh Duy; Dreissigacker, Marc; Bauer, Jörg; Hölck, Ole; Bader, Volker; Braun, Tanja; Zühlke, Jasmin; Minkus, Mathias; Voges, Steve; Becker, Karl-Friedrich; Wöhrmann, Markus; Lang, Klaus-Dieter; Schubert, Dirk; Schneider-Ramelow, Martin

136

Mikrofluidische In-plane-Kontaktierungskonzepte

Authors:
Weigel, Christoph; Hanitsch, Stefan; Dressler, Lothar; Hoffmann, Martin

137

Silbergesinterte Flip-Chip-Kontaktierungen zur Realisierung von hochtemperaturfähigen Sensorsystemen

Authors:
Weber, Constanze; Hutter, Matthias; Schneider-Ramelow, Martin

138

HBM and ASIC silicon interposer

Authors:
Puschmann, Rene; Heinig, Andy

139

Miniaturisiertes, batterieloses Sensorsystem zur Steckzyklenzählung an Verbindungskomponenten

Authors:
Augustin, Jörn; Klesse, Thomas; Neumeister, Peter; Oemus, Martin; Schubert, Lars; Schiefelbein, Frank-Peter

140

Keramische Multilagenspulen zur Anwendung in der Hochtemperaturelektronik

Authors:
Bartsch, Heike; Müller, Jens; Capraro, Beate; Schabbel, Dirk; Reimann, Timmy; Grund, Steffen; Töpfer, Jörg

141

Fertigung und Charakterisierung von in Leiterplatten integrierten Mikrotransformatoren

Authors:
Fischer, Eike C.; Cromwell, Kevin; Wurz, Marc Christopher

142

Prozessoptimierung mittels Fine-Placer für die Planarisierung der Topographie eingebetteter Chips in Polymerfolien

Authors:
Wang, Shuo; Passlack, Ulrike; Albrecht, Björn; Harendt, Christine; Burghartz, Joachim

143

144

Charakterisierung eindimensionaler Nanostrukturen durch Verfahren der Bildverarbeitung

Authors:
Haas, Dimitri; Wick, Konja; Schlaak, Helmut F.

145

Entwicklung eines Prozesses für das Entfernen von Siliziumatom-Einzellagen mittels Atomlagenätzen

Authors:
Dittmar, Nils; Küchler, Matthias; Meinecke, Christoph; Reuter, Danny; Otto, Thomas

146

147

Integration of graphene in CMOS compatible device environments

Authors:
Wittmann, Sebastian; Lemme, Max Christian

148

PSiP Power-Mikromodule mit integrierter Induktivität für Point-of-Load-Anwendungen

Authors:
Dinulovic, Dragan; Brooks, Michael; Haug, Martin

149

150

3D-Gedruckte Thermoplast-Keramik-Funktionskomposite

Authors:
Hanemann, Thomas; Syperek, Diana; Nötzel, Dorit

151

Dünnschichtstrukturierung metallorganischer Resinatpasten auf Glaswafern

Authors:
Kaltwasser, Mahsa; Karmaleeva, Kseniia; Müller, Jens

152

153

Kapazitive Ausleseschaltung für einen Einweg-Druck und Flusssensor für medizinische Anwendungen

Authors:
Nessler, Sebastian; Kartmann, Sabrina; Mutter, Lena; Grandauer, Christoph; Marx, Maximilian; Zengerle, Roland; Manoli, Yiannos

154

155

Microfluidic App for centrifugal separation and purification of lymphatic cancer cells from whole blood

Authors:
Specht, Mara; Schemberg, Joerg; Foerster, Tobias; Burger, Stefan; Rombach, Markus; Paust, Nils; Zengerle, Roland; von Stetten, Felix; Gastrock, Gunter; Karle, Marc

156

157

158

Individual Response Monitoring Assay (IRMA) – Standardization of Personalized Multiplex Biomarker Quantification

Authors:
Juelg, Peter; Specht, Mara; Meyer, Martin; Kipf, Elena; Schlenker, Franziska; Baensch, Felix; Neumann, Stefan; von Stetten, Felix; Zengerle, Roland; Paust, Nils; Fillies, Marion; Kirschner-Schwabe, Renate; Groeneveld-Krentz, Stefanie; Lehnert, Michael; Eckert, Cornelia; Hutzenlaub, Tobias

159

Aufbau und Verbindungstechnik für Mobile In-vivo Blutspektrometrie

Authors:
Schaulin, Michael; Zaunseder, Sebastian; Schmidt, Martin; Bock, Karlheinz

160

Entwicklung eines Multisensorsystems zur Zustandsüberwachung und Crasherkennung von Werkzeugmaschinen mit rotierenden Spindeln

Authors:
Meinecke, Christoph; Clauß, Benjamin; Albers, Jonas; Höller, Heinrich; Streit, Petra; Forke, Roman; Weidlich, Sebastian; Dittrich, Claus; Stritzke, Burkhard; Schubert, Andreas; Hiller, Karla; Reuter, Danny

161

Ein Konzept zur Hetero-Integration von SiGe mit GaAs für einen hochauflösenden Radarsensor bei 300 GHz

Authors:
Pohl, Nils; Vogelsang, Florian; Küter, Andries; Weber, Rainer; Leuther, Arnulf; Campo, Marta Arias; Sikora, Harald; Aufinger, Klaus

162

Indoor-Lokalisierungstechnologien: Überblick und Anwendungsbeispiele aus dem Umfeld von Industrie 4.0

Authors:
Stephan, Jörg; Felber, Wolfgang; von der Grün, Thomas

163

Zeitreihensegmentierung zum verbesserten Condition Monitoring in Industrie 4.0 Anwendungen

Authors:
Nicolaou, Christina; Reich, Christian; Ehrenpfordt, Ricardo; Mansour, Ahmad

164

Dielektrophorese-basiertes Lab-on-Chip-System zur Separation von Mikroalgen

Authors:
Barai, Arohi; Flügge, Jennifer; Hutari, Andri; Neubauer, Peter; Birkholz, Mario

165

Sichere 3D-Umgebungssensorik für mobile Roboter

Authors:
Korte, David; Neuschwander, Bernd; Castro, E.; Schweiker, M.; Baumgarten, Simon; Lindermayr, Jochen; Graf. Forenz

166

FEM Modeling of Microbolometer Structures

Authors:
Kaynak, Canan Baristiran; Goeritz, Alexander; Yamamoto, Yuji; Trusch, Andreas; Stocchi, Matteo; Wietstruck, Matthias; Unal, Kadir Ere; Ozdemir, Mehmet Bora; Ozsoy, Yusuf; Gurbuz, Yasar; Kaynak, Mehmet

167

168

Bestimmung der Temperaturhysterese von MEMS-Mikrofonen mithilfe der Finiten Elemente Methode

Authors:
Ebbinghaus, Hanna; Feiertag, Gregor; Walser, Sebastian

169

Ganzheitliche Entwurfsmethodik für kompakte HF-MEMS-Oszillatoren auf einem SiCer-Verbundsubstrat

Authors:
Stehr, Uwe; Stegner, Johannes; Fischer, Michael; Gropp. Sebastian; Müller, Jens; Hoffmann, Martin; Hein, Matthias

170

Simulationsgestützte Auslegung und Fertigung von werkzeuginte-grierten induktiven Sensoren

Authors:
Arndt, Matthias; Dencker, Folke; Wurz, Marc Christopher

171

Automatischer Entwurf des Power-Down-Netzwerks für Analogschaltungen

Authors:
Neuner, Maximilian; Zwerger, Michael; Gräb, Helmut

172

FEM-Abschätzung für die Stabilität eines opto-mechanischen Phasen-schiebers

Authors:
Ashour, Mohamed; Weig, Eva; Caspers, Jan

173

Automatische Initialdimensionierung von analogen Operationsverstärkern

Authors:
Abel, Inga; Neuner, Maximilian; Gräb, Helmut

174

175

Simulation der Eigenerwärmung gedruckter Leiterbahnen für die thermische Auslegung

Authors:
Bülz, Daniel; Streit, Petra; Forke, Roman; Otto, Thomas

176

Entwicklung eines mobilen Nachweissystems im Handheld-Format zur quantitativen Bestimmung von vicinalen Diketonen aus Jungbier

Authors:
Tritz, Florian; Scherag, Frank D.; Brandstetter, Thomas; Rühe, Jürgen

177

Quantifizierung der mechanischen Zuverlässigkeit von MEMS mittels experimenteller und numerischer Verfahren

Authors:
Ampunant, Waschriporn; Schrag, Gabriele; Ganzhorn, Kathrin; Laumer, Bernhard

178

Mikrotechnischer Sensor für die thermische Feuchtigkeitsmessung in textilen Materialien

Authors:
Schönfisch, David; Göddel, M.; Heyde, Christian; Schlarb, Heiko; Deferme, Wim; Picard, Antoni

179

Identification of critical stress location on PCBs taking into account the influence of fixations and housing

Authors:
Pantou, Remi; Hildebrandt, Marcus; Dudek, Rainer; Rzepka, Sven

180

Schichtanalyse des partiellen Atmosphärendrucksputterns für Hochtemperatur - Packaging – Anwendungen

Authors:
Bickel, Jan; Eberl, Maria; Kaletta. Katrin; Ngo, Ha-Duong; Schneider-Ramelow, Martin; Lang, Klaus-Dieter

181

Entwicklung einer skalierbaren Schaltmatrix für Nanokompositsenoren

Authors:
Kilian, Wolfgang; Tautkus, Jessica; Tautenhahn, Kevin; Kanoun, Olfa; Heinkel, Ulrich

182

Messung der Abweichungen von Produktionstechnologien mit Hilfe eines Stresschips für zuverlässigere Packages

Authors:
Schindler-Saefkow, Florian; Wich-Glasen, Paula; Albrecht, Jan; Rzepka, Sven

183

Entwicklung einer Scherkraftmessung zur qualitativen Analyse und Optimierung von Wafer Bonding Prozessen

Authors:
Krüger, Patrick; Wietstruck, Matthias; Kissinger, Gudrun; Lisker, Marco; Krüger, Andreas; Döhler, Torsten; Schäffner, Jan; Silz, Heike; Geißler, Ute; Kaynak, Mehmet

184

Einsatz von MEMS basierten Infrarot-Emittern für hochempfindliche Multigasanalysesysteme

Authors:
Oldorf, Carsten; Dunkelmann, Swen; Guderjahn, Thomas

185

Autarke Mikrosysteme: Anwendungen in der Energiewirtschaft

Authors:
Laß, Dietmar; Brockmann, Carsten; Stube, Bernd; Lang, Klaus-Dieter

186

Carbon Nanomaterials for Miniaturized Gas Sensors

Authors:
Aumer, Fabian; Hecht, Fabian; Kroener, Anton; Recum, Patrick; Hirsch, Thomas

187

A Combination of POD-based Model Order Reduction and Thermal Submodeling for Miniaturized Thermoelectric Generator

Authors:
Yuan, Chengdong; Sadashivaiah, Gunasheela; Kress, Stefanie; Rudnyi, Evgenii; Bechtold, Tamara

188

Entwicklung und Charakterisierung eines triboelektrischen Nanogenerators

Authors:
Stork, David; Löffler, Jannek; Schierle, Stefan; Goldschmidtböing, Frank; Woias, Peter

189

Self-Tuning Dual-Frequency Piezoelectric Energy Harvester

Authors:
Bouhedma, Sofiane; Rao, Yongchen; Zhang, Yuhang; Lange, Fred; Hohlfeld, Dennis

190

191

Mikrofluidischer Querstromfilter zur Aufreinigung von pharmazeutischen Nanopartikelsuspensionen

Authors:
Bolze, Holger; Dietzel, Andreas; Burg, Thomas P.

192

Hochflussoptimierung von Mikromembranpumpen durch phasengesteuerte Kopplung

Authors:
Grünerbel, Lorenz; Bußmann, Agnes; Zett, Oliver

193

Mikrostrukturierung für super-hydrophobe Oberflächen in Electrowetting

Authors:
Türk, Semih; Jupe, Andreas; Viga, Reinhard; Vogt, Holger

194

Hochdynamische Druckpulsanalyse einer Mikromembranpumpe mittels in-line MEMS-Sensor

Authors:
Durasiewicz, Claudia Patricia; Thalhofer, Thomas

195

Fertigungsverfahren für mikrofluidische Strukturen aus PDMS am Beispiel eines Durchfluss-Thermocyclers

Authors:
Hapke, Vanessa; Schlüter, Michael; Pollich, Ludwig; Brommert, Janine