VDE e.V.; BMBF (Ed.)

MikroSystemTechnik Kongress 2019

Mikroelektronik | MEMS-MOEMS | Systemintegration – Säulen der Digitalisierung und künstlichen Intelligenz 28. – 30. Oktober 2019 in Berlin

2019, 772 pages, 140 x 124 mm, Slimlinebox, CD-Rom
ISBN 978-3-8007-5090-0, e-book: ISBN 978-3-8007-5129-7
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Content Foreword

Die Digitalisierung schreitet ungebremst voran. Ein wesentlicher Aspekt ist dabei die Online-Verbindung und -Vernetzung von Gegenständen und Prozessen, was sich bei den Themen wie Internet der Dinge (Internet of Things) oder bei Industrie 4.0 manifestiert. Die radikalen Veränderungen erahnen wir schon heute, wenn wir Smartphones, elektronische Ausweise, smarte Armbänder, aber auch vernetzte Produktionsgeräte oder autonom fahrende Autos betrachten. Selbst in der Medizin bieten immer kleiner werdende Elektroniksysteme (Implantate, Wearables) einen unverzichtbaren Komfort für Menschen. Die Palette wird sich extrem erweitern, wenn z. B. Anwendungen des maschinellen Lernens oder die Nutzung von künstlicher Intelligenz zunehmen.

Der MikroSystemTechnik Kongress ist die herausragende nationale Plattform im Bereich der Mikroelektronik, Mikrosystem- und Feinwerktechnik. Deutschland hat hier dank seiner gut aufgestellten industriellen Basis eine starke Stellung: von MEMS und Chipherstellern über Systemhäuser, die Komplettlösungen anbieten, bis hin zu vielen mittelständischen Unternehmen, die ein breites Spektrum an Sensor- und Mikrosystemen abdecken. Flankierend dazu existiert ein breites Netzwerk an Universitäten und Forschungseinrichtungen, wo derzeit mit Blick auf das Trendthema „Internet of Things" (IoT) verstärkt Schwerpunkte im Bereich der Sensorik und Mikrosysteme gesetzt und neue Professuren und Forschungsbereiche eingerichtet werden.
VDE – Verband der Elektrotechnik Elektronik Informationstechnik e.V.
Der VDE ist einer der großen europäischen Verbände für Branchen und Berufe der Elektro- und Informationstechnik. Eine internationale Experten-Plattform für Wissenschaft, Normung und Produktprüfung – interdisziplinär, eng verflochten, und einmalig auf der Welt. Eine geballte Konzentration an Erfahrung, Marktkenntnissen und technologischem Know-how.

Bundesministerium für Bildung und Forschung

1

Piezoelectric MEMS Sensors for the Detection of Weak Magnetic Signals with Adjustable Resonance

Authors:
Su, Jingxiang; Niekiel, Florian; Fichtner, Simon; Kirchhof, Christine; Meyners, Dirk; Quandt, Eckhard; Wagner, Bernhard; Lofink, Fabian

2

Piezoresistive Microcantilever for Gravimetric Particulate Matter Monitoring

Authors:
Bertke, Maik; Xu, Jiushuai; Setiono, Andi; Peiner, Erwin; Kirsch, Ina; Uhde, Erik

3

A Flow-through-cell Module containing inexpensive ChemFETs for Differential pH-sensing in Aqueous Solutions

Authors:
Mokhtarifar. Naser; Goldschmidtboeing, Frank; Woias, Peter

4

Integration of complex miniaturized optical systems by place and bend assembly

Authors:
Grueger, Heinrich; Knobbe, Jens; Meyer, Sebastian

5

6

Numerical Investigation of Anodic Bonding for Stress Sensitive MEMS Device

Authors:
Hu, Xiaodong; Schiffer, Michael; Schneider-Ramelow, Martin; Lang, Klaus-Dieter

7

High-performance integrated hard magnets for MEMS applications

Authors:
Bodduluri, Mani Teja; Lisec, Thomas; Blohm, Lars; Lofink, Fabian; Wagner, Bernhard

8

Functional carbon nanotubes for MEMS applications: Miniaturized strain sensor and black coating for infrared devices

Authors:
Boettger, Simon; Bonitz, Jens; Al-Falahi, Falah; Schulz, Stefan E.; Hermann, Sascha

9

10

ADMONT: Advanced Distributed Pilot Lines for More-than-Moore Technologies

Authors:
Stegemann, Karl-Heinz; Gaertner, Roberto

11

SAM³: New Failure Analysis Methods for Heterogeneous Systems

Authors:
Schweinboeck. Thomas; Pressel, Klaus; Altmann, Frank; Hoffrogge, Peter; Grimm, Michael; Keiper, Bernd

12

Mikroozon - thermal flow sensors and ozone generating electrodes for water cleaning applications

Authors:
Knieling, Thomas; Laske, Norman; Rasmusssen, Mats; Samson, Jule; Muehler, Tobias; Behrendt-Fryda, Barbara; Blohm, Lars; Nebling, Eric

13

14

Audio-Transducer for In-Ear-Applications based on CMOS-compatible electrostatic actuators

Authors:
Spitz, Barbara; Wall, Franziska; Schenk, Hermann; Melnikov, Anton; Ehrig, Lutz; Langa, Sergiu; Stolz, Michael; Kaiser, Bert; Conrad, Holger; Schenk, Harald

15

Compact Wideband Wilkinson Power Divider in Thin-Film Glass Technology for 5G Applications

Authors:
Murugesan, Kavin Senthil; Voigt, Thomas; Tschoban, Christian; Rossi, Marco; Ndip, Ivan; Lang, Klaus-Dieter; Naedele, Dirk; Student, Ralf; Dengler, Dominik

16

Al1-xScxN thin films for pyroelectric IR detectors

Authors:
Broeker, Sebastian; Fichtner, Simon; Bette, Sebastian; Tiedke, Stephan; Tappertzhofen, Stefan; Wagner, Bernhard

17

Passive fluid transport by cryogel filled capillaries for the realization of POC assays

Authors:
Fosso, Patrick; Zinggeler, M.; Brandstetter, T.; Ruehe, J.

18

19

20

Miniaturized porous silicon rugate filter wheel for multispectral imaging applications

Authors:
Keshavarzi, Shervin; Kovacs, Andras; Abdo, Mohammad; Badilita, Vlad; Korvink, Jan Gerrit; Mescheder, Ulrich M.

21

Porous silicon based antireflection coating for the MWIR range

Authors:
Keshavarzi, Shervin; Kovacs, Andras; Mescheder, Ulrich M.

22

The concept of a large working stroke reluctance zipper actuator

Authors:
Glukhovskoy, Anatoly; Wurz, Marc Christopher

23

PMMA Filled Through-Silicon Vias (TSVs) and Back Etch Process Controlled by Plasma Emission Interferometry

Authors:
Villasmunta, Francesco; Steglich, Patrick; Mai, Christian; Heinrich, Friedhelm; Ksianzou, Viachaslau; Schrader, Sigurd; Mai, Andreas

24

HBM and ASIC silicon interposer

Authors:
Puschmann, Rene; Heinig, Andy

25

Integration of graphene in CMOS compatible device environments

Authors:
Wittmann, Sebastian; Lemme, Max Christian

26

27

Microfluidic App for centrifugal separation and purification of lymphatic cancer cells from whole blood

Authors:
Specht, Mara; Schemberg, Joerg; Foerster, Tobias; Burger, Stefan; Rombach, Markus; Paust, Nils; Zengerle, Roland; von Stetten, Felix; Gastrock, Gunter; Karle, Marc

28

Individual Response Monitoring Assay (IRMA) – Standardization of Personalized Multiplex Biomarker Quantification

Authors:
Juelg, Peter; Specht, Mara; Meyer, Martin; Kipf, Elena; Schlenker, Franziska; Baensch, Felix; Neumann, Stefan; von Stetten, Felix; Zengerle, Roland; Paust, Nils; Fillies, Marion; Kirschner-Schwabe, Renate; Groeneveld-Krentz, Stefanie; Lehnert, Michael; Eckert, Cornelia; Hutzenlaub, Tobias

29

FEM Modeling of Microbolometer Structures

Authors:
Kaynak, Canan Baristiran; Goeritz, Alexander; Yamamoto, Yuji; Trusch, Andreas; Stocchi, Matteo; Wietstruck, Matthias; Unal, Kadir Ere; Ozdemir, Mehmet Bora; Ozsoy, Yusuf; Gurbuz, Yasar; Kaynak, Mehmet

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31

Identification of critical stress location on PCBs taking into account the influence of fixations and housing

Authors:
Pantou, Remi; Hildebrandt, Marcus; Dudek, Rainer; Rzepka, Sven

32

Carbon Nanomaterials for Miniaturized Gas Sensors

Authors:
Aumer, Fabian; Hecht, Fabian; Kroener, Anton; Recum, Patrick; Hirsch, Thomas

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A Combination of POD-based Model Order Reduction and Thermal Submodeling for Miniaturized Thermoelectric Generator

Authors:
Yuan, Chengdong; Sadashivaiah, Gunasheela; Kress, Stefanie; Rudnyi, Evgenii; Bechtold, Tamara

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Self-Tuning Dual-Frequency Piezoelectric Energy Harvester

Authors:
Bouhedma, Sofiane; Rao, Yongchen; Zhang, Yuhang; Lange, Fred; Hohlfeld, Dennis

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